机器型号：                                    EUV-400V

光源类型：                                    UV光

灯管规格 / 数量：                       15W / 3

曝光时间：                                    0 ~ 10 min

真空度：                                        ≤－0.7bar

晒板面积（最大）：                    400×200 mm（厚度0.3 ~ 10 mm）

电源：                                            220 ~ 240V  50 / 60Hz  130W

机器尺寸：                                    520×415×140 mm

机器重量：

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